炭材料表面抗氧化处理工艺方法

炭材料是光电转换材料单晶硅制备设备中用到的必不可少的保温材料，由于在该过程中炭材料往往是在高温下使用，而炭材料在高温下使用极易氧化，从而造成炭材料使用寿命的缩短，严重影响生产效率和设备寿命。为了提高炭材料的使抗氧化性，国内外相关科研人员均进行了大量的研究。目前常用的方法有基体改性法和表面涂层法。然而，基体改性法的效果有限，要真正解决炭材料高温氧化问题，还要靠在表面制备抗氧化涂层。目前为了提高炭材料表面高温抗氧化性能的处理方法存在工艺复杂，成本较高等不足。

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项炭材料表面抗氧化处理工艺方法，该技术的有益效果：该炭材料表面抗氧化处理的方法，最终在所得的炭材料表面生成了一层SiC涂层，因此具有优异的抗氧化性，其在1000℃下较未经该过程处理的炭材料抗氧化性提高6-10%。该炭材料表面抗氧化处理的方法，处理步骤简单，处理所用试剂来源广泛、价格低廉，处理过程不须特殊设备，因此该方法简易有效、处理成本低廉、对环境无污染，适于规模化处理，现将该炭材料表面抗氧化处理工艺方法及实施例介绍如下供研究交流参考：（611211  521405）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，
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