一种碲锌镉晶体表面的钝化工艺方法

碲锌镉晶体具有比传统的高能辐射探测器（主要是掺杂碘化钠（NaI（Tl））闪烁体、半导体Si（Li）和高纯Ge等）更好的射线探测性能，在生命科学、材料科学及环境科学等领域有重要的应用，如医学成像与诊断、X射线荧光分析仪（XRF）、工业探伤、武器监控和安全检测等。表面漏电流是降低碲锌镉探测器的电阻率、载流子迁移率寿命乘积的一个重要机制，较大的漏电流会导致器件的本底噪声增大，能量分辨率降低，因此，有必要降低表面漏电流。由于原子的周期性排列终止于晶体的表面，半导体的表面含有大量未配对的悬挂键，或者由于掺杂等其它的原因产生表面缺陷，在半导体的表面形成了表面态，这是产生表面漏电流的主要机制，因此，采用钝化技术改善碲锌镉晶体的表面结构，减少表面缺陷密度是降低探测器表面漏电流的有效途径。将碲锌镉晶体置于化学腐蚀液中进行处理的湿法钝化技术，具有工艺简单、成本低、效果好的优点，是一种常用的方法。湿法钝化是通过硫化或氧化的方法在碲锌镉晶体的表面形成硫化物或氧化物的钝化膜，减少表面悬挂键，从而降低表面缺陷密度。目前的硫化的方法比较复杂，如利用(NH4)2S或Na2S溶液对碲锌镉进行阳极化处理，可将碲锌镉原位硫化，但缺点是处理过程须加热或紫外照射，从而在碲锌镉晶体中引入新的缺陷晶体，因此，有必要研究开发一种工艺更简单的钝化技术。

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项一种碲锌镉晶体表面的钝化工艺方法，该技术的目的是为了解决上述利用(NH4)2S或Na2S溶液对碲锌镉碲锌镉晶体进行钝化过程中需加热或紫外照射处理，从而引入晶体缺陷的技术问题而提供一种工艺简单的碲锌镉晶体表面的钝化方法。该技术的有益效果是该碲锌镉晶体表面的钝化方法，其钝化工艺简单、处理成本低，效果明显。即无须加热或紫外照射，处理条件不苛刻，最终测试结果表明该方法有效降低器件的表面漏电流。当外加测试电压大于20V，在相同的电压作用下，经该技术的钝化方法钝化后的碲锌镉晶体表面的电流相对于钝化前的碲锌镉晶体表面的电流减小了约50%，现将该一种碲锌镉晶体表面的钝化工艺方法及实施例介绍如下供研究交流参考：（611541  237544） 

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