一种用于金属钼片的化学蚀刻方法及步骤

化学蚀刻是通过化学反应利用化学溶液的腐蚀作用，将不需要的金属快速溶解除掉的过程。化学蚀刻的基本流程是；将初始金属体进行常规的清洗和除油，使表面清洁，进而在其表面涂复耐酸油墨，并按照加工图纸进行曝光，而后进行显影和坚膜处理，再利用化学蚀刻溶液腐蚀暴露的金属，待腐蚀过程结束后再将表面的油墨用强碱性溶液去掉，最后用水清洗干净得到蚀刻加工工件产品。 目前已有的化学蚀刻溶液在蚀刻机上主要是针对不锈钢、铜、铜镍合金等金属微细加工的化学蚀刻溶液。由于金属钼具有高耐蚀性，耐高温性，高导电性和高耐磨性，其作为特种功能材料的使用极为广泛，但由于其高硬度难于机械加工微细结构，而且前涉及微细加工的要求正逐渐增多，为此用于金属钼的化学蚀刻的要求也日益紧迫。 

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项一种用于金属钼片的化学蚀刻方法及步骤，该技术的有益效果为：该技术方法采用先在由硫酸、硝酸、水及乙二胺四乙酸二钠组成蚀刻液中进行静止蚀刻，金属钼片需蚀刻区域被快速腐蚀烂穿后，清洗后放入三氯化铁蚀刻溶液的蚀刻机，蚀刻机内的三氯化铁蚀刻溶液进行动中蚀刻，流动的化学蚀刻溶液对钼片产品体的精密度，公差，坡度等精密技术条件有了更进一步的修正和巩固，保证产品的高质量。该技术的方法可以广泛应用于电子工业，光学仪表工业，石化工业，制药设备工业，核工业，半导体加工业，燃料电池和军事装备等的重要元器件和结构件的金属钼片化学蚀刻加工过程中，现将该一种用于金属钼片的化学蚀刻方法及步骤及技术方案实施例介绍如下供研究交流参考：（611511  373567）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，鉴于技术配方的特殊性不接受退款，请根据需要斟酌后支付，谢谢。