安全高效处理砷烷生产中含砷废水技术方法

高纯砷烷（＞99.9999%）广泛用于半导体工业中外延硅的N型掺杂， 硅离子注入，生长高端太阳能电池砷化镓（GaAs）薄膜、以及在III-V族固 体半导体照明中用于生长红黄光LED外延片的生长等等。另外，砷烷还用 作标准气、校正气等。因此，积极进行超纯砷烷气体的开发研究对促进电 子工业及其它有关技术的发展有着十分重要的意义。工业上通常通过砷化锌和稀硫酸水溶液反应制备砷烷，砷烷属于剧毒气体化学品，其TLV值只有50ppb。因此痕量的砷烷在 无控制的情况下释放，都会产生严重的安全问题。砷烷制备中产生的废液 在如下的情况下会导致砷烷的无控制释放：1）如果上述反应没有绝对的 100%反应完全，反应废液中痕量的砷化锌会继续反应，继续产生剧毒的砷 烷，2）砷烷在水溶液中有一定的溶解度，溶解在废水中的砷烷在温度变化 时，或者搅动时，都会引起砷烷释放，造成安全问题。另外几乎所有含砷 物质都属于剧毒的化学品，在砷烷制备中产生的废水也可能含有其他微量 砷化学品的成分，带来安全隐患。因此砷烷制备中产生的大量废水必须要 严格的进行解毒处理，以免造成严重人员伤亡和环境污染问题。

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项安全高效处理砷烷生产中含砷废水技术方法，该技术通过物理和化学方法相结合，有效地降低砷烷生产过程中产生 的废水中砷的含量，将大量剧毒的废水转变成可以循环使用的工业用水， 处理过程中收集的含砷固体废料体积很小，便于作为固体废料安全处理， 对保护环境和安全生产起到积极的作用。其处理工艺简单，特别适合大规 模工业化砷烷生产中大量含砷废液的解毒处理，进一步减少有毒废水 的排放，减少环境污染，对保护环境和安全生产起到积极的作用，现将该安全高效处理砷烷生产中含砷废水技术方法实例介绍如下供研究参考：（541511  425545）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
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