蓝宝石抛光液技术配方及制备方法

蓝宝石，分子式为Al2O3，是一种多功能氧化物晶体，为六方晶体结构，它具有优良的光学性能、物理性能和化学性能。与天然宝石相比，它具有硬度高、熔点高、透光性好、热传导性和电绝缘性优异、耐磨损性能好、抗腐蚀性能稳定等特性，因此被广泛应用于光电子、通讯、国防等领域。化学机械抛光技术是目前几乎唯一可以达到全局平坦化的技术，其综合了化学、机械及流体力学等作用的优势。应用化学机械抛光技术既可以得到高的抛光速率，又能获得光洁平整的表面。

随着科学技术的不断发展，要求蓝宝石零件必须具有很高的表面质量，因此对蓝宝石晶体的加工精度和表面完整性要求越来越高。但是，A向蓝宝石硬度高达莫氏9级，仅次于金刚石，相比C向蓝宝石加工难度更大，又A向蓝宝石致密性使其具有较大的表面张力和脆性，造成机械加工困难、抛光效率低、晶片表面粗糙度高、辅材损耗过快的问题，限制了A向蓝宝石行业的发展。华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项蓝宝石抛光液技术配方及制备方法，该技术产品抛光液及其制备方法，加工过程中切削速率快，润滑效果优良，加工的晶片表面质量好，且加工制备方法简单、成本低，是一种高抛光效率和低粗糙度的抛光液，大大提高了抛光效率和抛光质量，同时也增加了经济效益。现将该蓝宝石抛光液技术配方及制备方法介绍如下：（611571  331753）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，
供同仁参考交流，鉴于技术配方的特殊性，不接受投诉及退款，请斟酌后支付,谢谢！