多晶硅碱性制绒技术工艺方法

在全球范围内，光伏发电技术也已成为各国应用研究的热点，在这一领域的任何突破性进展，都将对人类未来能源的利用产生革命性影响。目前光伏产业主要是指晶体硅太阳能电池产业，晶硅电池占市场份额约达90%，大面积商品化太阳电池效率可达到18%-19%。晶体硅具有转换效率高、性能稳定、商业化程度高等优点，但也存在硅材料紧缺、制造成本高等问题。即便如此，光伏技术的发展目前仍然是以晶体硅太阳电池为主。因单晶硅具有各向异性的性质，所以产业化生产单晶硅太阳电池事先表面陷光效应（制作的绒面）都是采用碱性腐蚀液。多晶硅电池由于整体结构不显示各向异性的特点，所以常规多晶硅电池制备表面陷光结构都采用酸腐蚀来获得。目前常规多晶硅表面制绒此均用酸腐蚀，由于腐蚀是放热过程过程必须采用强制降温制冷，时间控制也必须严格，否则无法获得良好绒面，不能与后续的沉积氮化硅减反射膜工艺相匹配，造成电池沉积的减反射膜的色差大，最终导致电池的效率和外观上都有缺点。另外氢氟酸价格较高，若能用碱性腐蚀液代替酸对多晶硅制绒则可降低电池制作的成本。

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项多晶硅碱性制绒技术工艺方法，该技术以廉价的碱性腐蚀液代替酸性腐蚀液，可利用常规生产单晶硅电池的槽式制绒设备，以降低生产投入。通过选择适当的腐蚀液配比，可在保证绒面质量的前提下，缩短制绒时间以缩短太阳能电池的制作周期，相比于常规产业化单晶硅碱性制绒的80℃以上温度，可降低制绒温度以降低生产能耗。通过该技术方法得到的绒面均匀性好，以避免太阳能电池表面产生色差；腐蚀深度的可控性高，能与后续通过PECVD沉积的氮化硅双减反射膜匹配良好，以降低太阳能电池表面的反射率。以波长为650nm的入射光为例，太阳能电池表面的整体反射率可降到3%至5%，基本达到生产成本高的酸性制绒的效果，现将该多晶硅碱性制绒技术工艺方法实例介绍如下供研究参考：（811511  231677）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，
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