硅片加压抛光高温粘结蜡及其制备方法
目前各种牌号高低温的抛光粘结蜡市场上都有卖,但是现有市场上适合加压抛光的高温蜡,抛光后除蜡较难,都比低温蜡难清洗,因为高温蜡中多加有合成蜡,如PE蜡、热熔胶。同时,由于高温蜡比较脆硬,在环境温度低时,容易脱胶,需要换低温蜡。另外,市场上购买高温蜡成本高。现有生产工艺活动中的粘结蜡,大多在加压抛光发热的情况下, 硅片抛光容易发生跑片,影响产品质量。因此,一种能够适合不同环境温度,降低生产成本,除蜡方便,便于清洗,抛光加压不跑片的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡亟待出现。
华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项硅片加压抛光高温粘结蜡及其制备方法,该技术产品是一种能够适合不同环境温度,降低生产成本,除蜡方便,便于清洗,抛光加压不跑片,可以在不同环境温度下使用的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡,现将该硅片加压抛光高温粘结蜡及其制备方法实例介绍如下供研究参考:(811511 231654)
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