太阳能级硅片制绒技术工艺方法

制绒工艺和扩散工艺是影响太阳能电池光电转换效率的重要步骤，也是太阳能电池制备流程中较为成熟的工艺。制绒工艺有机械刻槽法、掩膜腐蚀蜂窝绒面结构技术、电化学腐蚀法、反应离子刻蚀技术等。在当前电池工艺生产中普遍采用湿法化学溶液腐蚀法制绒，其中单晶硅片采用碱腐蚀液制绒法形成金字塔绒面结构；多晶硅片利用酸腐蚀液制绒法形成蚯蚓状绒面织构。 扩散过程中，硅表面会形成高浓度掺杂层，成为一些硅表面附近有害的杂质的吸杂中心，在后续工艺中将吸杂层去除，减少复合中心，达到提高少子寿命、提高太阳电池转化效率目的。目前主要是磷吸杂、铝吸杂和硼吸杂。

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项太阳能级硅片制绒技术工艺方法，该技术制绒方法，适用于P型或N型太阳能级硅片。经扩散后湿法化学腐蚀制绒工艺，硅片表面附近杂质被吸除，减少复合中心，有助于提高少子寿命，改善硅片质量，降低反射率，增加PN结有效面积，绒面结构更加合理，进而达到提高电池转换效率的目的。该方法融合了目前普通的扩散工艺和湿法化学制绒工艺，具有成本低、操作简单、制绒重复性和均匀性好等优点，适合产线上生产要求，具有较高的商业价值，用这种方法制备的绒面细小而均匀，反射率低，适用于单晶硅、多晶硅、准单晶硅，制备的电池转换效率高， 是普通扩散工艺和普通化学腐蚀制绒工艺的融合，成本较低，工艺时间缩短，适应工业生产要求，发展前景广阔。现将该太阳能级硅片制绒技术工艺方法介绍如下供研究参考：（811511  231631）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，
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