单晶硅片退火制绒技术工艺方法
单晶硅太阳能电池技术成熟,在太阳能电池市场中占主要份额,是目前太阳能光伏发电的主流技术。在单晶硅太阳能电池制作过程中,为了提高电池的性能和效率,需要在硅片表面制作金字塔绒面结构,有效的金字塔绒面结构可以减小硅片表面对入射太阳光的反射及增加入射光的散射,延长光程,增加电池对光的吸收,相应有较多的光生载流子产生,从而提高电池效率。单晶硅片的绒面通常是利用碱性腐蚀液对硅片表面进行腐蚀而形成。利用单晶硅的各向异性腐蚀原理,即碱性腐蚀液对硅片的不同晶面具有不同的腐蚀速率(对(111)晶面腐蚀较慢,对(100)晶面腐蚀较快),在硅片表面形成金字塔状结构。常规的制绒工艺使用氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠等为制绒液,其中异丙醇使金字塔的大小更均匀。制绒效果主要体现在金字塔大小和均匀度,金字塔的均匀度是影响电池陷光效果重要因素。一般制绒工艺形成的金字塔大小不太均匀,而且相邻金字塔之间存在空隙,对光的反射率仍偏高。
华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项单晶硅片退火制绒技术工艺方法,该技术是一种用于提高单晶硅片表面金字塔绒面结构均匀性的新的制绒方法,现将该单晶硅片退火制绒技术工艺方法实例介绍如下供研究参考:(811511 231667)
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